由於是政府部分補助，補助單位自然也希望受補助企業能有具體成效，比較重要成效項目包括公司產值增加多少金額、增加多少就業人數（可降低失業率，符合政府提高就業率政策）、促成企業投資額、成立新公司、降低成本、產出新產品或服務等。
計畫效益編列要務實，忽過度膨脹，隨意填寫不合理數字，例如產值增加金額過高，即使通過，結案可能與效益目標值差距過大，導致減價驗收，或是影響未來申請其他相關補助計畫過案機率，當然也不用過於保守，隱藏實力，反而可能適得其反，導致成為無法過案原因之一。
1.增加產值
企業透過本計畫之執行成果，可擴大公司通路，並販售於更多產業，帶動產品新話題，促進產業的蓬勃發展，使計畫成果能擴散發展，同時可提高產品附加價值並創造產業效益，故建議產值需達總計畫經費的3倍以上。
2.新產品或服務
新產品或服務的創新開發，是攸關企業未來生死存亡的關鍵因素，透過持續推行上市進而切入新市場，獲取高額的利潤報酬，可為公司帶來更多收益，創造營收，企業才得以永續經營。
3.投入研發費用
研發費用是指在研究與開發過程中所使用資產的折舊、消耗的原材料、直接參與開發人員的工資、政府對於企業希望能投入更多的研發費用，來提高產業及經濟脈絡、促進產業發展，故建議於計畫編列公司年度研發費用。
4.促成投資額
促成投資額是指，因計畫專案衍伸之廠房、設備、資訊系統、等資本投資，作為衡量本計畫之商業價值或衍生效益。如產品開發計畫可衡量後續是否有產品量產或擴廠計畫，可列為促成投資額，如為服務型計畫，可列舉相關通路及品牌行銷投資，列舉為投資項目，提高計畫的執行價值。
5.降低成本
降低成本是指透過本計畫成果，如服務平台或產品，來降低客戶端或研發企業本身的營運成本、產品生產成本、人事成本等，可列舉以上成本項目，可讓審查委員能夠體會到，本計畫研發項目的價值及解決問題點。
6.新型及發明專利
專利對於計畫成果是最好的驗證法式之一，如本計畫能有專利產品，對於政府單位是一項顯而易見的成果效益，也是公司研發的卓越表現，及未來商轉的智財保護及智財權，可提高委員對本案執行的信心，故建議能有專利產出。
7.成立新公司
成立新公司，作為計畫延伸的服務、或合作方式，對於服務型的計畫，較為在意，例如執行的平台後續如何銷售推廣，如本計畫可因業務需求、市場推廣、產品開發等，衍生新的公司或體系，對於政府來說可創造更多稅收、輔持新興產業，如是新創產業是有利的計畫效益之一。
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